ООО «АДЕЛАНТЕСТ»

Продукция

|

|

Технологическое оборудование

|

Технологическое оборудование
для нанесения тонких пленок.

Дополнительное оборудование

R-серия оборудования АСО PICOSUN™

(с ручной или полуавтоматической обработкой)

преимущественно используется для НИОКР. Верхняя подача прекурсоров и двойная камера гарантируют напыление плёнок АСО высочайшего качества. Плёнки обладают превосходной однородностью в том числе на поверхностях со сверхсложными структурами. Большое количество полностью раздельных вводов прекурсоров позволяет провести гибкий выбор источников даже в базовой конфигурации R-серии оборудования АСО PICOSUN™.

Гибкость оборудования R-серии позволяет легко переносить результаты НИОКР на промышленное оборудование P-серии АСО PICOSUN™.

PICOSUN™ R-200 Standard

Технические параметры

Размер образцов и их тип 50 – 200 мм одиночные пластины
Макс. 150 мм пластины в вертикально-расположенной кассете по 5 -15 штук (в зависимости от процесса)
Фотовольтаика 156x156 мм Si пластины
Трехмерные объекты
Порошки и частицы
Образцы с глухими и сквозными порами, образцы с высоким аспектным отношением
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C, более высокие — по согласованию
Варианты загрузки образцов
Пневматический загрузчик (ручная загрузка)
Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон
До 6 реагентов через 4 отдельных ввода
Вес
350 кг
Размеры (Ш x В x Г)
В зависимости от дополнительного оборудования
Минимум 146 x 146 x 84 см
Максимум 189 x 206 x 111 см
Дополнительное оборудование
Ускоритель диффузии PICOFLOW™, встроенный эллипсометр, пьезокварцевый микровзве- шиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор газообразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3

PICOSUN™ R-200 Advanced

Технические параметры

Размер образцов и их тип 50 – 200 мм одиночные пластины
Макс. 150 мм пластины в вертикально расположенной кассете по 5 -15 штук (в зависимости от процесса)
Спец. опция: макс. 200 мм пластины в вертикально-расположенной кассете по 5 -15 штук (в зависимости от процесса)
Фотовольтаика 156 x 156 мм Si пластины
Трехмерные объекты
Порошки и частицы
Рулонная подача образцов, макс. ширина 70 мм
Образцы с глухими и сквозными порами, образцы с высоким аспектным отношением
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C, более высокие — по согласованию
Варианты загрузки образцов
Пневматический загрузчик (ручная загрузка)
Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
Полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного загрузчика
Покассетная загрузка в кластерных инструментах
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма.
До 12 реагентов через 6 отдельных ввода
Вес
350 + 200 кг
Размеры (Ш x В x Г)
В зависимости от дополнительного оборудования
Минимум 146 x 146 x 84 см
Максимум 189 x 206 x 111 см
Дополнительное оборудование
Кластерное оборудование, ускоритель диффузии PICOFLOW™, встроенный эллипсометр, пье- зокварцевый микровзвешиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV), генератор газообразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3

P-серия оборудования АСО PICOSUN™

применяется в промышленном производстве. Оборудование Р-серии является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, гарантирует максимальную рентабельную производительность. Также оно позволяет наносить пленки высочайшей однородности и чистоты, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью.

PICOSUN™ P-200 Pro

Вакуумная кластерная система PICOPLATFORM™, оборудованная двумя АСО инструментами PICOSUN™ P-200 с источниками плазмы PICOPLASMA™.

Встроенный эллипсометр для in situ анализа роста пленок, интегрированный в АСО инструмент PICOSUN™.

Технические параметры

Размер образцов и их тип Одиночные пластины 50 – 200 мм
Макс. 150 мм пластины, расположенные вертикально в пакете по 10-25 штук (зависит от конкретного процесса)
Специальная конструкция: макс. 200 мм пластины, расположенные вертикально в пакете по 5-15 штук (зависит от конкретного процесса)
Фотовольтаика 156 x 156 мм Si пластины
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C, более высокие — по согласованию
Варианты загрузки образцов
Пневматический загрузчик (ручная загрузка)
Загрузочный шлюз с магнитным ручным манипулятором
Полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного манипулятора
Покассетная загрузка в кластерном оборудовании
Жидкостные, твердые, газообразные, озон и плазма
До 6 реагентов через 4 отдельных ввода
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма.
До 12 реагентов через 6 отдельных ввода
Вес
790 кг
Размеры (Ш x В x Г)
160 x 80 x 240 см
Дополнительное оборудование
Объединение в кластер, устройство усиления диффузии PICOFLOW™, встроенный эллипсометр, пьезокварцевый микровзвешиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор газоо- бразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы, совместимость с ПО хостузла производства
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3
Требуют дополнительного согласования: другие процессы, удовлетворение определенным критериям приемки:
• Неоднородность • Уровень частиц • Загрязнение тяжелыми металлами • Электрические характеристики

PICOSUN™ P-300 Advanced

Технические параметры

Размер образцов и их тип 300 мм пластины в пакетах по 10 штук (стандартное расстояние между пластинами)
200 мм пластины в пакетах по 25 штук (стандартное расстояние между пластинами)
Фотовольтаика 156 x 156 мм Si пластины в пакетах по 50/100 штук (пленка на обе стороны/одну сторону пластин)
Листы стекла размером до 300 x 300 мм в пакетах по 10-20 штук
Трехмерные объекты
Порошки и образцы, содержащие частицы
Рулонная обработка гибких образцов с макс. шириной не более 300 мм
Образцы с глухими и сквозными порами, образцы с высоким аспектным отношением
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C
Варианты загрузки образцов
Пневматический загрузчик (ручная загрузка)
Линейный загрузчик
Загрузка с помощью промышленного робота
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон
Датчики уровня, обслуживание по очистке и заполнению
До 6 реагентов через 4 отдельных ввода
Вес
400 + 300 кг
Размеры (Ш x В x Г)
149 x 191 x 111 см
Дополнительное оборудование
Объединение в кластер, устройство усиления диффузии PICOFLOW™, пьезокварцевый микро- взвешиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор газообразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы, совместимость с ПО хостузла производства
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3

PICOSUN™ P-300 Advanced

Оборудование для АСО PICOSUN™ P-300 Pro с механизмом вращения, совместимым с SEMI для 200 мм пластин, предназначенное для вращения пакета пластин в вертикальное положение (слева) и с автоматизированным вакуумным пакетным загрузчиком (справа; перегородка отделяет чистое помещение от сервисного коридора). Дополнительное оборудование идеально подходит для производств МЭМС, органи- ческих светодиодов и III-V.

Технические параметры

Размер образцов и их тип Макс. 300 мм одиночные пластины
200 мм пластины в пакетах по 25 штук (стандартное расстояние между пластинами)
150 мм пластины в пакетах по 50 штук (стандартное расстояние между пластинами)
100 мм пластины в пакетах по 75 штук (стандартное расстояние между пластинами)
Образцы с высоким аспектным отношением
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C
Варианты загрузки образцов
Загрузочный шлюз с магнитным ручным манипулятором
Полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного манипулятора
Покассетная загрузка в кластерных системах
Пакетная загрузка с механизмом вращения
Вакуумная пакетная загрузка
Загрузка из N2 шкафа
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма
Датчики уровня, обслуживание по очистке и заполнению
До 12 реагентов через 6 отдельных вводов
Вес
820 кг
Размеры (Ш x В x Г)
160 x 80 x 240 см
Дополнительное оборудование
Объединение в кластер, устройство усиления диффузии PICOFLOW™, встроенный эллипсометр, пьезокварцевый микровзвешиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор газообразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с перчаточным боксом для загрузки из инертной атмосферы, совместимость с ПО хостузла производства
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3
Требуют дополнительного согласования: другие процессы, удовлетворение определенным критериям приемки:
• Неоднородность • Уровень частиц • Загрязнение тяжелыми металлами • Электрические характеристики

PICOSUN™ P-300 Advanced

Технические параметры

Размер образцов и их тип 450 мм пластины в пакетах по 40 штук
300 мм пластины в пакетах по 80 штук
200 мм пластины в пакетах по 12 х 25 штук
Фотовольтаика 156 мм x 156 мм Si пластины в пакетах по 800/1000 штук (пленка на обе стороны/одну сторону пластин)
Листы стекла до 400 x 600 мм в пакетах по 30/50 штук (пленка на обе стороны/одну сторону пластин)
Трехмерные объекты
Образцы с глухими и сквозными порами, образцы с высоким аспектным отношением
Рабочая температура процесса
50 — 500 °C
Варианты загрузки образцов
Пневматический загрузчик (ручная загрузка посредством вилочного погрузчика)
Загрузка с помощью промышленного робота
Реагенты
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма
Датчики уровня, обслуживание по очистке и заполнению
До 12 реагентов через 6 отдельных вводов
Вес
2000 кг
Размеры (Ш x В x Г)
230 x 270 x 125 см
Дополнительное оборудование
Объединение в кластер, пьезокварцевый микровзвешиватель (QCM), анализатор остаточных газов (RGA), генератор газообразного N2, газовый скруббер, конструкционное исполнение по ТЗ заказчика, совместимость с ПО хостузла производства
Приемо-сдаточные испытания
Стандартные испытания с тестированием процесса Al2O3
Требуют дополнительного согласования: другие процессы, удовлетворение определенным критериям приемки:
• Неоднородность • Уровень частиц • Загрязнение тяжелыми металлами • Электрические характеристики

Источник плазмы PICOPLASMA™

Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ предназначен для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) и основан на безионном удаленном источнике плазмы. Для расширения процессной химии с помощью генератора возможно получать возбужденные частицы кислорода, азота и радикалов водорода. Из-за низкой концентрации ионов, удаленный источник плазмы позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без их разрушения ионами плазмы, но при этом сохраняется плотный поток радикалов. Источник плазмы может быть смонтирован на существующее оборудование PICOSUN™, либо заказчик может приобрести целиком оборудование для ПАСО. Оборудование занимает небольшую площадь и легко обслуживается. Система также может быть полностью автоматизирована путем включения ее в кластерное оборудование PICOPLATFORM™

Технические характеристики Picosun PICOPLASMA™

  • Генератор плазмы и блок питания объединены в один компактный корпус
  • Подключается к камере перемещения, которая вертикально соединена с реакционной камерой
  • Коммерчески доступный РЧ генератор плазмы имеет мощность в диапазоне 100 — 3000 Вт, частоты 1.7 — 3 МГц
  • Среднее время между отказами >100 000 часов
  • Защитный поток газа в промежуточное простанство (нет обратной диффузии частиц плазмы)
  • Возбуждение плазмы без вариации давления (не образуются примесные частицы)
  • Идеально подходит для осаждения металлов и нитридов металлов (отсутствует шунтирование)
  • Возможность проведения ПАСО и АСО в одном процессе без изменений в конструкции оборудования
  • Высококонформные и однородные пленки ПАСО TiN (верхний ряд) и TiN+Cu (нижний ряд) на поверхностях микроотверстий пластин с высоким аспектным отношением, полученные с использованием PICOPLASMA™.

    Вакуумное кластерное оборудование PICOPLATFORM™ 200

    Технические параметры

  • Размеры пластин: 100, 150, 200 мм или квадратные пластины 156 x 156 мм
  • Опции загрузки
    Загрузочный шлюз для одиночных пластин (полуавтоматический)
    Автоматический покассетный загрузчик для 25 пластин
  • Перегрузочная камера с роботизированным манипулятором пластин
  • Датчики пластин
  • Встроенный юстировщик пластин
  • Реакционная камера изолирована от комнатной атмосферы в процессе загрузки и разгрузки из нее пластин
  • Дополнительное оборудование/опции
    Загрузчик для контейнера для п/п пластин со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) для работы из инертной атмосферы
    Передача данных SECS/GEM
  • Вакуумное кластерное оборудование PICOPLATFORM™ 300

    Технические параметры

  • Вакуумная система с роботизированным манипулятором для пластин и перегрузочной камерой, в состав также входит загрузочный шлюз
  • Стыковочный модуль EFEM с тремя портами FOUP, возможность составления карты годности кристаллов на пластине с помощью атмосферного робота
  • Надежная технология MagnaTran от Brooks. Среднее число циклов между отказами >10 млн.
  • Обработка одиночных пластин и оптические датчики пластин внутри вакуумного кластера
  • Реакционная камера изолирована от комнатной атмосферы в процессе загрузки и разгрузки из нее пластин
  • Опционально юстировщик пластин в модуле EFEM
  • Дополнительное оборудование

    Усилитель диффузии PICOFLOW™

    Усилитель диффузии PICOFLOW™ позволяет улучшить покрытие пленками поверхностей глубоких микроканавок и других структур с высоким аспектным отношением, а также образцов с глухими, сквозными и извилистыми порами. Устройство также повзоляет наносить нанопленки на другие сложные наноструктуры и порошки. Усилитель диффузии PICOFLOW™ может быть установлен в любое оборудование для АСО PICOSUN™.

    Системы нанесения пленок на частицы POCA™ и PICOVIBE™

    Picosun предлагает решения для нанесения пленок на наночастицы как для НИОКР, так и для промышленных производств. Картридж POCA™ 300 предназначен для одновременного нанесения нанопленок на большой объем наночастиц. Картридж может быть встроен в оборудование АСО PICOSUN™ P-300. Для обработки порошков меньших объемов используется картридж POCA™ 200, встроенный в оборудование R-серии PICOSUN™.

    Последнее решение оптимально подходит для проведения НИОКР высочайшего качества. Инновационная конструкция PICOVIBE™ позволяет улучшить процесс нанесения пленок на наночастицы путем улучшения распределения паров реагентов внутри картриджа с порошком, что приводит к однородному формированию пленки на каждой отдельной частице порошка.

    Частица 100 нм, покрытая пленкой Al2O3 толщиной 1 нм.

    Углеродные нанотрубки, функционализированные с по- мощью металлических частиц рутения, нанесенных с помощью АСО.

    Картридж Picosun POCA™ 300 позволяет производить одновременное напыление пленок АСО на большой объем частиц.

    Реакционная камера для рулонной обработки

    Рулонная обработка АСО позволяет использовать ее в областях печатной электроники, герметизация органических светодиодов, тонкопленочные аккумуляторы, интеллектуальная ткань, органические детекторы, перерабатываемые или биодеградирующие упаковочные материалы, а также гибкие дисплеи. Реакционная камера PICOSUN™ с устройством рулонной обработки материалов позволяет обрабатывать образцы шириной до 300 мм. Камера может напрямую встроена в оборудование PICOSUN™ P-300 промышленного класса. Кроме того, система R-серии PICOSUN™, предназначенная для проведения НИОКР, может быть оборудована устройством рулонной обработки материалов с шириной до 70 мм.

    Промышленное оборудование Picosun с модулем рулонной обработки образцов позволяет проводить непрерывное напыление пленок АСО на рулонные материалы большой ширины.

    Совместимость с перчаточным боксом

    Все оборудование АСО PICOSUN™ может быть интегрировано с различными типами перчаточных боксов с целью избежания работы с чувствительными к воздуху образцами и реагентами. Оборудование с отдельными загрузочными шлюзами или стандартными подъемниками может быть соединено посредством вакуумноплотной прокладки со стеной перчаточного бокса или его нижней пластиной.

    Совместимость со сверхвысоким вакуумом (UHV)

    Все оборудование АСО PICOSUN™ может быть изготовлено в варианте для сверхвысокого вакуума (UHV). Система АСО может быть соединена с откачной камерой или модифицирована таким образом, что его было бы возможно откачивать до сверхвысокого вакуума.